Синтез углеродных пленок электрохимическим травлением карбида кремния SiC с фтористоводородной кислотой в неводных сольвентах

Rus Eng Синтез углеродных пленок электрохимическим травлением карбида кремния SiC с фтористоводородной кислотой в неводных сольвентах Synthesis of carbon films by electrochemical etching of...